為滿足國外用戶對FE-2100RMD多極磁環(huán)測試能力考察,較細(xì)致的進(jìn)行了測試實(shí)驗(yàn),并對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析總結(jié),基本上達(dá)到理想效果,通過實(shí)驗(yàn)總結(jié),后期對產(chǎn)品的出廠可參考來用作為檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn),在掌握自身產(chǎn)品測試能力的同時,保證產(chǎn)品測試精度和一致性。
多極磁環(huán)極寬測試考核步驟
1、選取磁環(huán)八極樣品,隨機(jī)標(biāo)注四個測試大致位置,用于取放樣品測試考核使用;
2、參考樣品所帶卡簧,用它作為安裝到卡盤上的止位高度;
3、裝入卡盤,以卡簧為參考,確保探頭回位測試點(diǎn)在一個水平面上。
四、調(diào)節(jié)探頭到環(huán)中部,設(shè)定測試點(diǎn)位置和停機(jī)點(diǎn)位置,開始測試(芯片距離磁環(huán)壁0.3mm)。
五、隨機(jī)按要求控制高度安裝連續(xù)測試4次,對應(yīng)各磁極分布對應(yīng)情況
1、4次疊加考核設(shè)備對應(yīng)固定位置重復(fù)性如下圖:
2、峰值*大值**偏差:2Gs,磁場*小值**偏差:0Gs;平均值*大偏差:1Gs;
3、磁極*大極寬**偏差:0.02°,磁極*小極寬**偏差:0.03°;
4、四次各磁極極寬對應(yīng)表如下(單位°):
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
1
|
44.83
|
45.13
|
44.74
|
45.5
|
45.08
|
45.23
|
44.66
|
44.83
|
2
|
44.82
|
45.13
|
44.75
|
45.5
|
45.08
|
45.21
|
44.68
|
44.83
|
3
|
44.83
|
45.13
|
44.73
|
45.51
|
45.09
|
45.21
|
44.66
|
44.84
|
4
|
44.81
|
45.14
|
44.73
|
45.52
|
45.07
|
45.23
|
44.65
|
44.85
|
5、各磁極寬度在極坐標(biāo)中獲得
六、移開探頭取出樣品,旋轉(zhuǎn)一個角度安裝,探頭自動回位重新連續(xù)測試5次,對應(yīng)各磁極分布對應(yīng)情況
1、五次疊加考核設(shè)備對應(yīng)固定位置重復(fù)性
2、峰值*大值**偏差:1Gs,磁場*小值**偏差:2Gs;平均值*大偏差:1Gs;
3、磁極*大極寬**偏差:0.02°,磁極*小極寬**偏差:0.02°;
4、五次各磁極極寬對應(yīng)表如下(單位°):
次數(shù)
|
1(S)
|
2(N)
|
3(S)
|
4(N)
|
5(S)
|
6(N)
|
7(S)
|
8(N)
|
1
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
2
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
3
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
4
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
5
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
七、移開探頭取出樣品,旋轉(zhuǎn)下一個角度安裝,探頭自動回位重新連續(xù)測試5次,對應(yīng)各磁極分布對應(yīng)情況
1、五次疊加考核設(shè)備對應(yīng)固定位置重復(fù)性
2、峰值*大值**偏差:1Gs,磁場*小值**偏差:2Gs;平均值*大偏差:2Gs;
3、磁極*大極寬**偏差:0.03°,磁極*小極寬**偏差:0.04°;
4、五次各磁極極寬對應(yīng)表如下(單位°):
次數(shù)
|
1(S)
|
2(N)
|
3(S)
|
4(N)
|
5(S)
|
6(N)
|
7(S)
|
8(N)
|
1
|
45.3
|
44.67
|
44.83
|
44.61
|
45.05
|
44.79
|
45.45
|
45.3
|
2
|
45.3
|
44.67
|
44.8
|
44.63
|
45.05
|
44.78
|
45.46
|
45.3
|
3
|
45.25
|
44.72
|
44.8
|
44.61
|
45.08
|
44.76
|
45.47
|
45.31
|
4
|
45.27
|
44.7
|
44.82
|
44.59
|
45.09
|
44.76
|
45.45
|
45.29
|
5
|
45.29
|
44.7
|
44.83
|
44.6
|
45.06
|
44.78
|
45.46
|
45.28
|
八、移開探頭取出樣品,旋轉(zhuǎn)下一個角度安裝,探頭自動回位重新連續(xù)測試5次,對應(yīng)各磁極分布對應(yīng)情況
1、五次疊加考核設(shè)備對應(yīng)固定位置重復(fù)性
2、峰值*大值**偏差:2Gs,磁場*小值**偏差:2Gs;平均值*大偏差:1Gs;
3、磁極*大極寬**偏差:0.02°,磁極*小極寬**偏差:0.03°;
4、五次各磁極極寬對應(yīng)表如下(單位°):
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
1
|
44.89
|
44.97
|
44.55
|
45.05
|
44.78
|
45.51
|
45.09
|
45.3
|
2
|
44.88
|
44.97
|
44.59
|
45.01
|
44.8
|
45.48
|
45.12
|
45.15
|
3
|
44.86
|
44.99
|
44.58
|
45
|
44.82
|
45.48
|
45.11
|
45.16
|
4
|
44.84
|
45.01
|
44.56
|
45.03
|
44.79
|
45.5
|
45.09
|
45.18
|
5
|
44.87
|
44.98
|
44.56
|
45.04
|
44.78
|
45.51
|
45.08
|
45.18
|
九、磁極對應(yīng)整體數(shù)據(jù)
次數(shù)
|
1(N)
|
2(S)
|
3(N)
|
4(S)
|
5(N)
|
6(S)
|
7(N)
|
8(S)
|
1
|
44.83
|
45.13
|
44.74
|
45.5
|
45.08
|
45.23
|
44.66
|
44.83
|
44.82
|
45.13
|
44.75
|
45.5
|
45.08
|
45.21
|
44.68
|
44.83
|
44.83
|
45.13
|
44.73
|
45.51
|
45.09
|
45.21
|
44.66
|
44.84
|
44.81
|
45.14
|
44.73
|
45.52
|
45.07
|
45.23
|
44.65
|
44.85
|
2
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
3
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.69
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.98
|
44.86
|
45.71
|
45.12
|
45.14
|
44.72
|
44.83
|
44.64
|
44.97
|
44.85
|
45.71
|
45.14
|
45.14
|
44.71
|
44.84
|
44.64
|
44.98
|
44.85
|
45.68
|
45.17
|
45.12
|
44.74
|
44.82
|
44.66
|
44.96
|
44.88
|
45.68
|
45.14
|
45.14
|
44.72
|
44.82
|
4
|
44.61
|
45.05
|
44.79
|
45.45
|
45.3
|
45.3
|
44.67
|
44.83
|
44.63
|
45.05
|
44.78
|
45.46
|
45.3
|
45.3
|
44.67
|
44.8
|
44.61
|
45.08
|
44.76
|
45.47
|
45.31
|
45.25
|
44.72
|
44.8
|
44.59
|
45.09
|
44.76
|
45.45
|
45.29
|
45.27
|
44.7
|
44.82
|
44.6
|
45.06
|
44.78
|
45.46
|
45.28
|
45.29
|
44.7
|
44.83
|
|
|
|
|
|
|
|
|
*大值
|
44.83
|
45.14
|
44.88
|
45.71
|
45.3
|
45.3
|
44.74
|
44.85
|
*小值
|
44.59
|
44.97
|
44.73
|
45.45
|
45.07
|
45.12
|
44.66
|
44.8
|
偏差
|
0.24
|
0.17
|
0.15
|
0.26
|
0.23
|
0.18
|
0.08
|
0.05
|
多極磁環(huán)極寬測試考核結(jié)論:
1、設(shè)備測試前進(jìn)行過同心度檢驗(yàn),偏差0.05mm;
2、樣品直徑:38.05mm,圓度偏差:0.02mm(38.04~38.06mm)
3、經(jīng)過取放四次,重新安裝,探頭回位測試,主要考察磁極寬度,峰值可參考原始數(shù)據(jù)。
4、磁極寬度偏差不超過0.3°。